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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）

  • 簡單描述
  • Z適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
    采用聲光報警。
  • 更新時間：  2024-10-19
  • 產(chǎn)品型號：  
詳細介紹

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）

于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
 采用聲光報警。

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動吸引式）技術(shù)參數(shù)：

型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度 
（單位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)


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